التصنيف حسب التطبيق:

الغازات الإلكترونية: تُستخدم في صناعة الإلكترونيات وأشباه الموصلات، مثل سيلان (SiH₄)، وثنائي كلوروسيلان (SiH₂Cl₂)، 

وفوسفين (PH₃)، وأرسين (AsH₃)، وثلاثي فلوريد النيتروجين (NF₃). تُستخدم على نطاق واسع في عمليات مثل الترسيب الطبقي، 

وغرس الأيونات، والنقش، والترسيب الكيميائي للبخار.

الغازات القياسية: تُستخدم بشكل رئيسي للمعايرة والاختبار، مثل الغازات القياسية أحادية أو متعددة المكونات المُعدة 

بالنيتروجين (N₂)، والأكسجين (O₂)، والأرجون (Ar). تُستخدم عادةً في صناعات النفط، والكيميائيات، وحماية البيئة، 

ومعايرة أجهزة الاستشعار.

الغازات البيئية: تُستخدم في مراقبة البيئة ومعالجتها، مثل ثاني أكسيد الكبريت (SO₂) وأكاسيد النيتروجين (NOₓ). يمكن استخدام الغازات القياسية لمراقبة تلوث الهواء، كما يمكن استخدام بعض الغازات أيضًا في معالجة الغازات العادمة.

الغازات الطبية: تُستخدم في المجال الطبي، مثل الأكسجين (O₂) وأكسيد النيتروز (N₂O). يمكن استخدامها للتخدير ودعم التنفس. غازات اللحام: تُستخدم هذه الغازات، مثل الأرجون (Ar) وثاني أكسيد الكربون (CO₂)، أثناء عملية اللحام. تعمل كغازات واقية لمنع الأكسدة في موقع اللحام.

غازات التعقيم، مثل أكسيد الإيثيلين، تُستخدم لتعقيم الأجهزة الطبية وتغليف المواد الغذائية.

التصنيف حسب التركيب الكيميائي:

الغازات القائمة على السيليكون: مثل سيلان (SiH₄)، ورباعي كلوريد السيليكون (SiCl₄)، ورباعي فلوريد السيليكون (SiF₄).

الغازات القائمة على الزرنيخ: مثل أرسين (AsH₃) وثلاثي كلوريد الزرنيخ (AsCl₃).

الغازات القائمة على الفوسفور: مثل فوسفين (PH₃) وثلاثي كلوريد الفوسفور (PCl₃).

الغازات القائمة على البورون: مثل ثلاثي كلوريد البورون (BCl₃) وثلاثي فلوريد البورون (BF₃).

هيدريدات المعادن: مثل بوران (B₂H₆).

الهاليدات: مثل الكلور (Cl₂)، وبروميد الهيدروجين (HBr)، وسداسي فلورو الإيثان (C₂F₆).

هيدروكربونات المعادن: مثل ثلاثي ميثيل الغاليوم (Ga(CH₃)₃).

التصنيف حسب الوظيفة في الدوائر المتكاملة:

غازات المنشطات، مثل بوران وفوسفين وأرسين، تُستخدم لإدخال ذرات شوائب في أشباه الموصلات، مما يغير خصائصها الكهربائية.

غازات الترسيب الطبقي، مثل سيلان ورباعي كلوريد السيليكون، تُستخدم لتنمية طبقة ترسيب طبقي لها نفس أو مشابه

 للهيكل البلوري على ركيزة شبه موصل.

غازات غرس الأيونات، مثل فوسفين وأرسين وبوران، تُستخدم لحقن غازات الشوائب المؤينة في 

رقائق أشباه الموصلات لأغراض مثل التنشيط.

غازات LED، مثل غازات النتريد، تُستخدم في عملية تصنيع LED.

غازات النقش، مثل الكلور وثلاثي فلوريد النيتروجين ورباعي فلوريد الكربون، تُستخدم لإزالة المواد غير المرغوب فيها 

من سطح الرقاقة وتشكيل أنماط محددة.

غازات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، مثل سيلان والأمونيا وثاني أكسيد الكربون، تُستخدم لترسيب طبقات رقيقة على

 أسطح الرقائق من خلال التفاعلات الكيميائية.

غازات الناقل المخفف، مثل النيتروجين والأرجون، تُستخدم لحمل الغازات التفاعلية الأخرى أو لتخفيف الغازات التفاعلية.