مركز التكنولوجيا
أهم 3 اعتبارات لاختيار صمامات النقاء الفائق في أنظمة أشباه الموصلات والأدوية والغاز
كأحد المعدات الأساسية في الإنتاج الصناعي، تواجه الصمامات العديد من المشاكل من الاختيار والاستخدام إلى الصيانة. يعتبر اختيار الصمامات عنصرًا أساسيًا في المجالات عالية الدقة مثل أنظمة الغاز وتصنيع أشباه الموصلات والطاقة الشمسية والطب الحيوي، مما يؤثر مباشرة على نقاء الغاز وسلامة النظام واستقرار العمليات. على عكس الصمامات الصناعية العادية، فإن المتطلبات الأساسية لصمامات النقاء الفائق هي "صفر تلوث، صفر تسرب، وحجم ميت منخفض". لذلك، تأمل هذه المقالة في مساعدة الجميع من خلال النظر في العوامل الرئيسية الثلاثة التي يجب مراعاتها عند الاختيار.
بناءً على السيناريو، حدد مؤشرات الاختيار الأساسية، تأكد من أن المادة تلبي معايير العميل ومتطلبات السيناريو ومعايير SEMI، قلل معدل التسرب في اتجاه ضغط التثبيت، والتحكم لا غنى عنه. تعني خصائص الوسط المختلفة أيضًا أن اختيار خصائص الغاز هو مشروع منهجي.
بالإضافة إلى إعطاء الأولوية لنظافة المواد، من الضروري أيضًا توضيح معلمات مثل مقعد الصمام ولوحة جسم الصمام والوصلات، وتقديم متطلبات محددة لعدد الثقوب والحجم والواجهة. كيف يمكن إعطاء الأولوية للنظافة؟ يجب أن تتجنب المكونات التي تلامس الغاز إطلاق جزيئات أو أيونات معدنية أو ملوثات عضوية. على سبيل المثال، عادةً ما يستخدم الفولاذ المقاوم للصدأ 316L لأجسام الصمامات (يتطلب معالجة تلميع كهربائي EP، مع خشونة الجدار الداخلي Ra ≤ 0.8μ لتقليل امتصاص الجزيئات)؛ يجب إعطاء الأولوية لمواد مثل PTFE/PCTFE/PFA وغيرها من المواد المشبعة بالفلور، وكذلك VESPEL ذات العمر الأطول، لمكونات العزل
بالطبع، بالإضافة إلى الجوانب النوعية، خاصة في مجال التحديد الكمي للعمليات، فإن الحجم الميت المنخفض هو العامل الرئيسي في تصميم التجويف ولا يمكن تجاهله. يجب أيضًا مراعاة عوامل مثل نطاق الضغط --- لأنظمة الضغط المنخفض (<0.5 MPa)، تعد صمامات الحجاب الحاجز أيضًا الخيار المفضل. ولكن أيضًا المتعلقة بمتطلبات التدفق ودرجة الأتمتة ونطاق درجة الحرارة في عملية الاختيار.